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FR-Ultra NIR N3 晶圓厚度測量系統(tǒng)

簡要描述：FR-Ultra 是一款專用于精確測量半導(dǎo)體以及介電材料超厚層的專用設(shè)備。 藉由先進(jìn)的光學(xué)器件，F(xiàn)R-Ultra 可以測量光滑或粗糙的薄膜以及較厚的基材。

  • 產(chǎn)品型號：
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 產(chǎn)品資料：
  • 更新時間：2024-11-09
  • 訪  問  量： 883

詳細(xì)介紹

FR-Ultra 是一款專用于精確測量半導(dǎo)體以及介電材料超厚層的專用設(shè)備。 藉由先進(jìn)的光學(xué)器件，F(xiàn)R-Ultra 可以測量光滑或粗糙的薄膜以及較厚的基材。


典型應(yīng)用包括：厚玻璃的厚度測量（厚度可達(dá) 2 毫米，透明或霧面）晶圓厚度測量（例如直徑達(dá) 12 英寸的單面或雙面拋光晶圓）。


FR-Ultra可以很容易地與笛卡爾坐標(biāo)系和極坐標(biāo)結(jié)合，用于大面積的厚度測量。


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硅片厚度分布圖（12英寸）


特點：

o 單擊分析（無需輸入初始預(yù)估值）

o 動態(tài)測量

o 內(nèi)建700種以上不同材料

o 可安裝多個離線分析軟件

o 免費軟件更新


FR-Ultra NIR N3 中文版正式.jpg



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